SrTiO3-Substrat
Beschreibung
SrTiO3-Einkristall hat eine gute Gitterstruktur aus Perowskit-Strukturmaterial.Es ist ein ausgezeichnetes Substratmaterial für das Epitaxiewachstum von HTS und den meisten Oxidfilmen.Es wird häufig in der Erforschung hochtemperatursupraleitender Dünnfilme eingesetzt.Es wird auch häufig in speziellen optischen Fenstern und hochwertigen Sputtertargets verwendet.
Eigenschaften
Ausrichtung: (100) +/-0,5 Grad
Kantenausrichtungsanzeige: <001> +/-2 Grad als Option gegen Aufpreis erhältlich
Polieren: Einseitig EPI-poliert durch CMP-Technologie mit weniger Gitterschäden unter der Oberfläche.
Verpackung: Verpackt in einer 100-Grad-Plastiktüte unter einem Reinraum der Klasse 1000.
| Kristallstruktur | Kubisch, a=3,905 A |
| Wachstumsmethode | Vernuil |
| Dichte (g/cm).3） | 5.175 |
| Schmelzpunkt (℃) | 2080 |
| Härte (Mho) | 6 |
| Wärmeausdehnung | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| Dielektrizitätskonstante | ~ 300 |
| Verlusttangens bei 10 GHz | ~5x10-4@ 300K, ~3 x10-4@77K |
| Farbe und Aussehen | Transparent (manchmal je nach Glühzustand leicht braun). Keine Zwillinge |
| Chemische Stabilität | Nicht in Wasser löslich |
SrTiO3-Substratdefinition
Das SrTiO3-Substrat bezieht sich auf ein kristallines Substrat aus der Verbindung Strontiumtitanat (SrTiO3).SrTiO3 ist ein Perowskitmaterial mit kubischer Kristallstruktur, das sich durch eine hohe Dielektrizitätskonstante, hohe thermische Stabilität und gute Gitteranpassung mit vielen anderen Materialien auszeichnet.
SrTiO3-Substrate werden häufig in den Bereichen Dünnschichtabscheidung und epitaktisches Wachstum eingesetzt.Die kubische Struktur von SrTiO3 ermöglicht das Wachstum hochwertiger Dünnfilme mit ausgezeichneter Kristallqualität und geringer Defektdichte.Dadurch eignen sich SrTiO3-Substrate sehr gut für das Wachstum epitaktischer Filme und Heterostrukturen für verschiedene Anwendungen.
Aufgrund der hohen Dielektrizitätskonstante von SrTiO3 eignet es sich für Anwendungen wie Kondensatoren, Speichergeräte und ferroelektrische Dünnfilme.Aufgrund seiner thermischen Stabilität ist es für Hochtemperaturanwendungen geeignet.
Darüber hinaus machen die vielfältigen Eigenschaften von SrTiO3, wie seine metallische Leitfähigkeit bei niedrigen Temperaturen und die Möglichkeit, einen supraleitenden Zustand zu induzieren, es für die Forschung in der Physik der kondensierten Materie und die Entwicklung elektronischer und optoelektronischer Geräte nützlich.
Zusammenfassend handelt es sich bei SrTiO3-Substraten um kristalline Substrate aus Strontiumtitanat, die aufgrund ihrer hohen Dielektrizitätskonstante, thermischen Stabilität und guten Gitteranpassungseigenschaften häufig für die Dünnschichtabscheidung, das epitaktische Wachstum und eine Vielzahl elektronischer und optoelektronischer Anwendungen verwendet werden.
