MgF2-Substrat
Beschreibung
MgF2 wird als Linse, Prisma und Fenster für Wellenlängen von 110 nm bis 7,5 μm verwendet.Aufgrund seiner guten Transmission bei 193 nm ist es ein am besten geeignetes Material als Fenster für ArF-Excimer-Laser.Es ist auch als optischer Polarisator im ultravioletten Bereich wirksam.
Eigenschaften
| Dichte (g/cm).3） | 3.18 |
| Schmelzpunkt (℃) | 1255 |
| Wärmeleitfähigkeit | 0,3 Wm-1K-1 bei 300K |
| Wärmeausdehnung | 13,7 x 10-6 /℃ parallele C-Achse 8,9 x 10-6 /℃ senkrechte C-Achse |
| Knoop-Härte | 415 mit 100g Eindringkörper (kg/mm2) |
| Spezifische Wärmekapazität | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektrizitätskonstante | 1,87 bei 1 MHz paralleler C-Achse 1,45 bei 1 MHz senkrecht zur C-Achse |
| Youngscher Modul (E) | 138,5 GPa |
| Schermodul (G) | 54,66 GPa |
| Volumenmodul (K) | 101,32 GPa |
| Elastizitätskoeffizient | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Scheinbare elastische Grenze | 49,6 MPa (7200 psi) |
| QUERKONTRAKTIONSZAHL | 0,276 |
MgF2-Substratdefinition
Unter MgF2-Substrat versteht man ein Substrat aus Magnesiumfluorid (MgF2)-Kristallmaterial.MgF2 ist eine anorganische Verbindung, die aus den Elementen Magnesium (Mg) und Fluor (F) besteht.
MgF2-Substrate verfügen über mehrere bemerkenswerte Eigenschaften, die sie in einer Vielzahl von Anwendungen beliebt machen, insbesondere in den Bereichen Optik und Dünnschichtabscheidung:
1. Hohe Transparenz: MgF2 weist eine ausgezeichnete Transparenz im ultravioletten (UV), sichtbaren und infraroten (IR) Bereich des elektromagnetischen Spektrums auf.Es verfügt über einen breiten Transmissionsbereich von Ultraviolett bei etwa 115 nm bis Infrarot bei etwa 7.500 nm.
2. Niedriger Brechungsindex: MgF2 hat einen relativ niedrigen Brechungsindex, was es zu einem idealen Material für AR-Beschichtungen und Optiken macht, da es unerwünschte Reflexionen minimiert und die Lichtdurchlässigkeit verbessert.
3. Geringe Absorption: MgF2 weist im ultravioletten und sichtbaren Spektralbereich eine geringe Absorption auf.Diese Eigenschaft macht es nützlich für Anwendungen, die eine hohe optische Klarheit erfordern, wie z. B. Linsen, Prismen und Fenster für ultraviolette oder sichtbare Strahlen.
4. Chemische Stabilität: MgF2 ist chemisch stabil, beständig gegen eine Vielzahl von Chemikalien und behält seine optischen und physikalischen Eigenschaften unter einer Vielzahl von Umgebungsbedingungen bei.
5. Thermische Stabilität: MgF2 hat einen hohen Schmelzpunkt und kann hohen Arbeitstemperaturen ohne nennenswerte Verschlechterung standhalten.
MgF2-Substrate werden häufig in optischen Beschichtungen, Dünnschichtabscheidungsprozessen und optischen Fenstern oder Linsen in verschiedenen Geräten und Systemen verwendet.Sie können auch als Pufferschichten oder Vorlagen für das Wachstum anderer dünner Filme dienen, beispielsweise von Halbleitermaterialien oder metallischen Beschichtungen.
Diese Substrate werden typischerweise mithilfe von Techniken wie Dampfabscheidung oder physikalischen Dampftransportmethoden hergestellt, bei denen MgF2-Material auf einem geeigneten Substratmaterial abgeschieden oder als Einkristall gezüchtet wird.Abhängig von den Anwendungsanforderungen können Substrate in Form von Wafern, Platten oder kundenspezifischen Formen vorliegen.
